成膜装置、成膜方法、及び光電変換装置の作製方法

【課題】基板のカールを抑制し、信頼性の高い光電変換装置を得ることを課題とする。 【解決手段】基板を送り出すローラを有する第１の搬送室と、放電電極を有する成膜室と、前記搬送室と前記成膜室との間、もしくは前記成膜室どうしの間に設置されたバッファ室と、前記バッファ室の前記基板が出入りする部分に設けられたスリットと、前記基板を巻き取るローラを有する第２の搬送室と有し、前記スリットには少なくとも１つのタッチロールが設置されており、前記タッチローラは前記基板の成膜面に接触する成膜装置、及びこのような成膜装置を用いて行う成膜方法並びに光電変換装置の作製方法に関する。このような成膜方法を用いると、素子の受光領域に傷を付けるのを防ぐことができる。 【選択図】図１