탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법

본 발명은 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법을 제공한다. 이 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브, 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부, 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 보조 챔버와 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스(conductance)를 조절하는 조리개(orifice), 보조 챔버에 연결되어 보조 챔버 내부를 배기하는 배기부, 보조 챔버내부의 압력을 측정하는 보조 진공계, 및 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함한다. 탈기체, 열탈착, 질량분석, 적외선 가열, 튜명 튜브