BMBF-Verbundvorhaben: Vielkanal-Mikrosonden zur integrierten elektrophysiologischen und konventionellen Neuronavigation bei stereotaktischen Hirnoperationen (NavEgate), Teilprojekt: Mikrofertigungsverfahren für Vielkanal-Mikroelektrodensonden : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.10.2001 - 21.12.2004 ; IMM Kurzname/PNr.: ERBSE/P011019 ; Auftraggeber: BMBF, Förderschwerpunkt MST 2000+