Verfahren und Vorrictung zur Herstellung von Proezessgasen für die Dampfphasenabscheidung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Schichten auf Werkstucken (30), bei dem wenigstens eine Komponente zur Herstellung der Schicht dosiert wird, wobei sich diese Komponente wahrend der Dosierung in einer flussigen Phase befindet und in einem nachfolgenden Prozessschritt zumindest teilweise in einen anderen Aggregatzustand uberfuhrt wird.