感放射線性樹脂組成物用重合体、感放射線性樹脂組成物、及びレジストパターン形成方法

【課題】波長１９３ｎｍにおける屈折率が１．７２以上であり、かつ、パターンニング可能なレジスト膜を形成するための感放射線性樹脂組成物に含有される感放射線性樹脂組成物用重合体を提供する。 【解決手段】下記式で表される構造を含有する感放射線性樹脂組成物用重合体。 （前記式中、Ｘ、Ｙは互いに独立に酸素又は硫黄を表し、ｍ、ｎは互いに独立に１〜３の整数を表す。） 【選択図】なし