Modélisation des résonateurs MEMS piézoélectriques cylindriques

L’etude presentee dans ce livre porte sur la modelisation 3D des resonateurs piezoelectriques de geometrie cylindrique. Elle s’appuie sur une methode polynomiale ou la description de la structure (proprietes physiques des materiaux et geometrie), les conditions aux limites et la prise en compte des sources sont incorporees directement dans les equations de propagation. Les outils et logiciels de simulation mis au point devront permettre de calculer : Dans le cadre d'une analyse modale, les frequences de resonance et d’anti-resonance du resonateur et dans le cadre d’une analyse harmonique l’impedance electrique normalisee du resonateur. Le coefficient de couplage electromecanique qui traduit l’efficacite de la conversion de l’energie electrique en energie mecanique est vice-versa ainsi que les profils de champ ont ete determines. Ces outils s’appuient sur une decomposition des champs sur une base de polynomes orthonormes choisie en fonction de la geometrie a modeliser. La methode est donc apte a traiter toutes les structures piezoelectriques sans necessiter leur discretisation en volumes elementaires dans lesquels on peut approximer les proprietes physiques par des constantes.