Procédé pour mesurer des caractéristiques d'un objet à mesurer, et structure périodique plane

La presente invention porte sur un procede de mesure, qui met en œuvre : le maintien d'un objet a mesurer dans une structure periodique plane (1) ; l'irradiation de la structure periodique (1) avec une onde electromagnetique polarisee de facon lineaire ; et la mesure de caracteristiques de l'objet a mesurer sur la base du changement de l'onde electromagnetique qui est diffusee vers l'avant ou retrodiffusee dans la structure periodique (1). La structure periodique (1) comprend une pluralite de structures unitaires ayant la meme forme et couplees en deux dimensions et de facon periodique dans la direction d'un plan de reference. La structure unitaire a au moins une section de vide (11) a penetration dans la direction perpendiculaire au plan de reference. L'onde electromagnetique est emise a partir de la direction perpendiculaire au plan de reference. La structure unitaire a une forme ne formant pas une symetrie de reflexion par rapport a un plan virtuel perpendiculaire a la direction de polarisation de l'onde electromagnetique.