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Acemap > Paper > フッ素およびフロロカーボンイオン(F+,CF+,CF3+)によるアモルファスカーボン膜(a‐C)に対するエッチング特性

フッ素およびフロロカーボンイオン(F+,CF+,CF3+)によるアモルファスカーボン膜(a‐C)に対するエッチング特性

2017 
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