CARACTERIZACIÓN DE PELÍCULAS SEMICONDUCTORAS DE FOSFURO DE INDIO

En el presente trabajo se presentan los resultados de la caracterizacion de peliculas semiconductoras de fosfuro de indio obtenidas por deposicion electroquimica sobre substratos de titanio. La caracterizacion efectuada comprende la caracterizacion de la morfologia superficial mediante microscopia optica y microscopia electronica de barrido (SEM). Se presentan los resultados de la caracterizacion quimica puntual en distintas regiones de las peliculas por microsonda electronica efectuados en el material depositado que dan el analisis cuantitativo aproximado de fosforo e indio presentes en las peliculas, pudiendose inferir acerca de la presencia de un compuesto casi estequiometrico de fosfuro de indio, en ciertas circunstancias. Se presenta una estimacion del espesor de las peliculas. Se verifico que el espesor es variable y dependiente de diversos parametros de deposicion. Ademas, se observo que, en las condiciones de agitacion, existe una dependencia del espesor de la pelicula con la formacion de burbujas de hidrogeno sobre las mismas.