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しきい値イオン化質量分析法による値流励起CF4プラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカル密度測定
しきい値イオン化質量分析法による値流励起CF4プラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカル密度測定
1997
hiroyuki fuzioka
masahiko murakami
keita horikosi
miki gotou
tosihiko arai
Hiroyuki Fujioka
Masahiko Murakami
Keita Horikoshi
Miki Goto
Toshihiko Arai
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