Electromechanical system having the rib structure of the bandgap

本发明提供用于机电系统EMS组合件的系统、方法及设备。 所述EMS组合件包含衬底、安置于所述衬底上的锚固件及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体。 所述悬置平面本体包含从所述悬置平面本体的平面延伸出且朝向所述衬底突出的至少一个凹部。 所述悬置平面本体还包含对应于所述至少一个凹部中的间隙的实质上水平部分。 所述间隙的范围达所述悬置平面本体的长度的20％。