無機ｅｌ蛍光体薄膜用ターゲット、蛍光体薄膜、無機ｅｌ素子および硫化物蛍光体薄膜の製造方法

(57)【要約】 【課題】 硫黄不足を抑制し、有毒ガス除去装置、安全 対策が不要であり、硫化物薄膜の結晶性が高く、発光輝 度、効率、色純度に優れた硫化物蛍光体薄膜が形成可能 な無機ＥＬ蛍光体薄膜用ターゲット、これにより形成さ れた蛍光体薄膜、無機ＥＬ素子および硫化物蛍光体薄膜 の製造方法を提供する。 【解決手段】 II族−硫黄化合物、II族−III族−硫黄 化合物または希土類硫化物を主成分とした母体材料と、 この母体材料組成に対し、硫化マグネシウム（Ｍｇ Ｓ）、硫化カルシウム（ＣａＳ）および硫化亜鉛（Ｚｎ Ｓ）のうちの１種類または２種類以上をＭｇＳ、ＣａＳ およびＺｎＳ換算で５〜５０ mol％含有する構成の無機 ＥＬ蛍光体薄膜用ターゲット、これにより形成された蛍 光体薄膜、無機ＥＬ素子、およびこれを用いた硫化物蛍 光体薄膜の製造方法とした。