無機el蛍光体薄膜用ターゲット、蛍光体薄膜、無機el素子および硫化物蛍光体薄膜の製造方法
1999
(57)【要約】
【課題】 硫黄不足を抑制し、有毒ガス除去装置、安全 対策が不要であり、硫化物薄膜の結晶性が高く、発光輝 度、効率、色純度に優れた硫化物蛍光体薄膜が形成可能 な無機EL蛍光体薄膜用ターゲット、これにより形成さ れた蛍光体薄膜、無機EL素子および硫化物蛍光体薄膜 の製造方法を提供する。
【解決手段】 II族−硫黄化合物、II族−III族−硫黄 化合物または希土類硫化物を主成分とした母体材料と、 この母体材料組成に対し、硫化マグネシウム(Mg S)、硫化カルシウム(CaS)および硫化亜鉛(Zn S)のうちの1種類または2種類以上をMgS、CaS およびZnS換算で5〜50 mol%含有する構成の無機 EL蛍光体薄膜用ターゲット、これにより形成された蛍 光体薄膜、無機EL素子、およびこれを用いた硫化物蛍 光体薄膜の製造方法とした。
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