Verfahren zur herstellung eines elastischen körpers aus ai2o3-keramik, messmembran für einen drucksensor und drucksensor mit einer solchen messmembran

2009 
Ein Verfahren zur Herstellung eines elastischen Verformungskorpers aus einer Al 2 O 3 -Keramik verwendet eine hochreine Tonerde mit hochstens 2000 ppm MgO, hochstens 200 ppm anorganischen Verunreinigungen, einer spezifischen Oberflache von mindestens 10 m 2 /g, eine mittlere Korngrose von hochstens 0,3 μm, wobei mit der Tonerde und Zusatzen uber wassrige Aufbereitung ein homogenes Gemisch erzeugt wird, aus dem ein pressfahiges Spruhgranulat erzeugt wird, welches mittels eines uniaxialen Pressverfahrens zu einem homogenen Grunkorper geformt wird, der einem Sinterprozess ausgesetzt wird, wobei der resultierende elastische Verformungskorper eine Biegebruchspannung σ c aufweist, deren Verteilung F(σ c ) durch die Weibull-Parameter σ 0 ≥ 800 MPa und m ≥ 24 gegeben ist, mit einer mittleren Korngrose des gesinterten Materials von nicht mehr als 2 μm, und wobei das gesinterte Material des Verformungskorpers eine Dichte von nicht weniger als 3,98 g/m 2 aufweist.
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