Enrobages à couches multiples résistant à la chaleur et durables et articles enrobés

La presente invention a trait a un procede permettant de fournir une structure d'enrobage durable qui comprend au moins trois couches, et qui est stable a des temperatures excedant 400 °C. Le procede inclut les etapes consistant a effectuer un depot par evaporation sous vide d'une premiere couche deposee sur un substrat, laquelle premiere couche est une couche d'adherence a oxyde metallique selectionnee dans le groupe comprenant un oxyde d'un element metallique de Groupe IIIA, d'un element metallique de Groupe IVB, d'un element metallique de Groupe VB et de combinaisons de ceux-ci; effectuer un depot par evaporation sous vide d'une deuxieme couche sur ladite premiere couche, laquelle deuxieme couche inclut une couche contenant du silicium selectionnee dans le groupe comprenant un oxyde de silicium, un nitrure de silicium et un oxynitrure de silicium; et effectuer un depot par evaporation sous vide d'une troisieme couche sur ladite deuxieme couche, laquelle troisieme couche est une couche comprenant de la matiere organique fonctionnelle. De nombreux articles utiles dans les applications de l'electronique, des microsystemes electromecaniques, de la lithographie par nano-impression et de la biotechnologie peuvent etre fabriques a l'aide du procede.