Röntgenanalysegerät mit einkristalliner Röntgenblende und Verfahren zur Herstellung einer einkristallinen Röntgenblende
2013
Ein Rontgenanalysegerat (1), umfassend
- eine Rontgenquelle (2), von der ein Rontgenstrahl (RS) ausgeht,
- wenigstens eine Rontgenblende (4; 4a, 4b), die den von der Rontgenquelle (2) ausgehenden Rontgenstrahl (RS) begrenzt,
- eine Probe (5), auf die der von der wenigstens einen Rontgenblende (4; 4a, 4b) begrenzte Rontgenstrahl (RS) gerichtet ist, und
- einen Rontgendetektor (6) zur Detektion einer von der Probe (5) ausgehenden Rontgenstrahlung,
wobei die wenigstens eine Rontgenblende (4; 4a, 4b) von der Probe (5) beabstandet angeordnet ist,
ist dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Rontgenblende (4; 4a, 4b) einen einkristallinen Blendenkorper (8) mit einem durchgehenden Loch (9) umfasst,
wobei der einkristalline Blendenkorper (8) eine umlaufende, durchgehende, den Rontgenstrahl (RS) begrenzende Kante (10) ausbildet, von der ausgehend sich das Loch (9) in einem ersten Bereich (B1) in Richtung einer Austrittsoffnung (11) der Rontgenblende (4; 4a, 4b) trichterformig erweitert. Die Erfindung stellt ein Rontgenanalysegerat vor, bei dem bei geringem Aufwand Rontgenmessungen durch parasitare Streustrahlung weniger beeintrachtigt werden.
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