Shape inspection method, and a method of manufacturing a structure of the shape inspection apparatus

本发明提供能非破坏、精度良好地检查具有凹凸形状的检查对象的形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置。 本发明的形状检查方法是对表面具有凹凸形状的标准样品和表面具有凹凸形状的检查对象照射光，比较上述标准样品的多个波长的反射率和上述检查对象的上述多个波长的反射率，由此检查上述检查对象的上述凹凸形状的形状检查方法。