Mécanisme de source d'alimentation en énergie électrique pour système de pulvérisation cathodique à cibles multiples

L'invention porte sur un mecanisme qui permet d'alimenter simultanement en energie electrique une pluralite de sources de pulverisation cathodique. Selon l'invention, un bloc d'alimentation en energie electrique est couple a un accumulateur de charge. L'accumulateur de charge est couple a plusieurs sources de pulverisation cathodique par le biais de dispositifs de commutation, et l'on utilise le cycle de service de chaque dispositif de commutation pour reguler individuellement l'energie distribuee a chaque source de pulverisation cathodique. Dans un autre mode de realisation, une source d'alimentation en energie est couplee a un circuit d'adaptation d'impedance. Le circuit d'adaptation d'impedance est couple a plusieurs sources de pulverisation cathodique par le biais de plusieurs elements d'equilibrage, et l'on utilise chaque element d'equilibrage pour reguler individuellement l'energie distribuee a la source de pulverisation cathodique.