Nouvelle cellule électrochimique pour l'étude de surfaces métalliques : application à la caractérisation du silicium en milieu électrolytique

1996 
Nous avons mis au point une cellule electrochimique qui, accompagnee d'un protocole experimental rigoureux, nous permet de caracteriser, in situ, le comportement electrique de l'interface silicium/electrolyte, de maniere reproductible et fiable. Cette cellule nous a permis d'obtenir des mesures de potentiels de repos, ainsi que des courbes courant-tension, caracterisant le comportement du silicium monocristallin en milieu acide fluorhydrique dilue, de maniere fiable et reproductible. La methode experimentale developpee dans cet article s'est averee tres precieuse pour l'etude de l'influence de l'eclairage et des impuretes de surface, car le potentiel d'interface permet de detecter, avec une grande sensibilite, l'oxygene dissous dans l'electrolyte, et la presence de contaminants metalliques a l'etat de traces (quelques ppb). Cette cellule, de petite dimension, 10 cm 3 , est d'un maniement aise, et permettrait, de maniere generale, de realiser l'etude du comportement electrochimique de surfaces metalliques au contact de solutions electrolytiques.
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