Bio-chip with an electrode array on a substrate

Bio-Chip (1) mit einem Elektrodenarray (2) auf einem Substrat (5) zur elektrischen, insbesondere kapazitiven Detektion von biochemischen Molekulen, wobei Elektroden (E1, E2) des Elektrodenarrays (2) jeweils aber einen elektrischen Leiter (10) durch das Substrat (5) hindurch mit einer elektrisch leitfahigen Kontaktflache (15) verbunden sind und die Kontaktflachen (15) auf der dem Elektrodenarray (2) abgewandten Seite (20) des Substrates (5) angeordnet sind und auf dieser Seite (20) die auserste Ebene des Substrates (5) bilden, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (E1, E2) auf einer ersten Isolationsschicht (39) aus Si-Oxid angeordnet oder innerhalb der ersten Isolationsschicht (3) eingebettet sind, wobei die Kontaktflachen (15) und das Substrat (5) durch eine zwischen ihnen angeordnete zweite Isolierungsschicht (35) aus Si-Oxid voneinander getrennt sind und die Leiter (10) durch eine Seitenwandpassivierung aus einem Oxid von dem Substrat (5) elektrisch isoliert sind.