Mems aperture adjusting means and preparation method based on the

本发明涉及一种基于MEMS的光圈调整装置及其制备方法。 基于MEMS的光圈调整装置包括一个不透明的可变形光圈环；多组导电变形横梁和导电柱，每组中每条导电变形横梁与相邻的导电柱相对应，导电变形横梁和导电柱相互间隔地分布在可变形透镜的周围，导电变形横梁是悬空的，导电变形横梁的内边缘与可变形透镜的外边缘固定粘结；一个或多个固定件，导电变形横梁的外边缘与固定件相固接，导电柱与固定件相固接且保持静止；利用每组中导电变形横梁与导电柱之间的静电力使得可变形光圈环被拉伸同时旋转，从而可变形光圈环的内孔面积发生改变。 本发明的微机电系统能够实现电制动调整光圈，体积小、功耗低、制造成本低。