Appareil destiné à former un film d'oxyde métallique, procédé de formation d'un film d'oxyde métallique, et film d'oxyde métallique

La presente invention concerne un appareil destine a former un film (100) selon un mode de realisation de la presente invention comprenant un premier contenant de solution (5A), un second contenant de solution (5B), un contenant de reaction (1), un premier trajet (L1) et un second trajet (L2). Le premier contenant de solution (5A) conserve une solution de matiere premiere (10) contenant un metal. Le second contenant de solution (5B) conserve du peroxyde d'hydrogene. Un substrat (2) est place dans le contenant de reaction (1), et le contenant de reaction (1) presente un rechauffeur (3) destine a rechauffer le substrat. Le premier trajet (L1) apporte la solution de matiere premiere (10) du premier contenant de solution (5A) au contenant de reaction (1). Le second trajet (L2) apporte le peroxyde d'hydrogene du second contenant de solution (5B) au contenant de reaction (1).