ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА ТОНКУЮ СТРУКТУРУ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ CИСТЕМЫ NIAL, СФОРМИРОВАННОГО МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Фазовый состав, тонкая структура интерметаллических покрытий исследованы методами электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа. Показано, что интерметаллид Ni3Al – это основная фаза покрытия для всех исследованных образцов. Ионная имплантация покрытия ионами алюминия и бора приводит к изменению параметра решетки, параметра дальнего атомного порядка, изменению внутренних упругих напряжений, размеров зерен и типа дислокационной структуры.