Deposition of a crystalline carbon layer on a group IV substrate

Verfahren zur Herstellung einer kristallinen Kohlenstoffschicht, umfassend Bereitstellen eines Substrats aus einem Substratmaterial, Bereitstellen einer Syntheseschicht auf einer Substratoberflache des Substrats, wobei die Syntheseschicht aus einem Material gefertigt ist, welches eine Schmelztemperatur hat, die niedriger ist als die Schmelztemperatur des Substratmaterials, Abscheiden von Kohlenstoff auf der Syntheseschicht bei einer Abscheide-Temperatur, die bei oder oberhalb der Schmelztemperatur des Materials der Syntheseschicht, jedoch unterhalb der Schmelztemperatur des Substratmaterials liegt, und Herbeifuhren einer Nukleation des auf der Syntheseschicht abgeschiedenen Kohlenstoffs und Bildung der kristallinen Kohlenstoffschicht, wobei das Material der Syntheseschicht zusatzlich chemisch inert gegenuber Kohlenstoff ist.