Une nouvelle technique de gravure en microelectronique: l'irradiation avec des ions multicharges

○ Le present article presente les proprietes des faisceaux d'ions multicharges et leurs applications aux techniques de gravure en microelectronique et d'une maniere plus generale au domaine des nanotechnologies. ○ Apres avoir decrit les methodes de preparation des faiceaux d'ion multicharges (sources d'ions) nous decrivons les caracteristiques essentielles et specifiques de l'interaction de ces ions multicharges avec les surfaces et notamment l'effet horloge atomique des atomes creux qui permet d'etudier l'interaction a l'echelle d'une fraction de nm. ○ Les applications possibles de ces specificites a la nanogravure ainsi que quelques resultats recents sont presentes.