PENGARUH KECEPATAN PUTARAN TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS ZnO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

Sintesis film tipis ZnO telah berhasil dilakukan dengan menggunakan metode sol-gel spin coating. Film tipis ZnO yang ditumbuhkan pada subtract kaca dengan variasi kecepatan putaran spin coating 3000, 4000 dan 5000 rpm. Hasil karakterisasi film tipis ZnO denganXRD menunjukkan semua struktur kristal berbentuk wurtize hexagonal dengan dengan ukuran kristal yaitu 25,9 – 34,1 nm. Hasil karakterisasi film tipis ZnO dengan SEM dan AFM menunjukkan morfologi film tipis ZnO berbentuk butiran-butiran bulat hampir seragam dan kompak dengan nilai kekasaran permukaan paling kecil 32,104 nm pada kecepatan putaran 5000 rpm. Hasil karakterisasi film tipis ZnO dengan UV-Vis menunjukkan kenaikan nilai transmitansi yang cukup tajam dan penurunan nilai absorbansi semua sampel terjadi pada rentang panjang gelombang 350 nm sampai 400 nm dan lebar celah pita energi yaitu 3,10 - 3,13 eV.