Irradiation a simple balayage de cristallisation de films minces

L'invention concerne un procede de traitement d'un film polycristallin sur un substrat, consistant a generer une pluralite d'implsions a faisceau laser, a positionner le film sur un support pouvant se deplacer dans au moins une direction, a diriger la pluralite d'impulsions a faisceau laser a travers un masque de maniere a obtenir des faisceaux laser modelises, chacun desdits faisceaux possedant une longueur l', une largeur w' et un espacement entre les faisceaux adjacents d', irradiant une zone du film avec des faisceaux modelises, lesdits faisceaux ayant une intensite suffisante pour faire fondre une partie irradiee du film et induire la cristallisation de la partie irradiee du film, la zone du film etant irradiee n fois. Ledit procede consiste ensuite, apres l'irradiation de chaque partie du film, a effectuer la translation du film ou du masque, ou des deux, a une certaine distance dans les directions x et y, la distance de translation dans la direction y se trouvant a environ l'/n-δ, δ etant une valeur selectionnee pour le chevauchement des faisceaux de l'etape d'irradiation a la suivante, et la distance de translation dans la direction x etant selectionnee de maniere que le film soit deplace a une distance d'environ μ' suite a n irradiations, μ' = w' + d'.