Spitzenwirkungsgrade bei sinkenden Herstellungskosten

Die Manz AG kommt mit der neuen Beschichtungsanlage VCS1200 der Forderung der PV-Industrie nach immer hoheren Wirkungsgraden bei gleichzeitig sinkenden Produktionskosten nach. Mittels neuartiger HP-ICP Technologie konnten bereits Wirkungsgrade uber 20% erreicht werden. Die hohe Gaszersetzung, die mit diesem Verfahren erreicht wird, sorgt fur kompakte Schichten mit sehr guten Passiviereigenschaften. Das ebenfalls neu entwickelte elektrostatische Carriersystem sorgt fur eine geringe mechanische Belastung der Wafer bei gleichzeitig vollflachig homogener Abscheidung. Die VCS1200 kann sowohl fur Ruckseiten-Passivierungen als auch fur Vorderseiten-Antireflexbeschichtungen eingesetzt werden. PERC Technology — Top efficiencies at lower manufacturing cost The coating system VCS1200 has been developed to comply with the demand of the PV industry to achieve higher cell efficiencies coupled with simultaneously reduction of production cost. The Manz AG could already achieve cell efficiencies above 20% with their novel HP-ICP source. This newly developed technology is able to achieve marked leading gas dissociation and leads to highly compact films with an extraordinary passivation. The electrostatic carrier system allows a full face vertical deposition with a very low mechanical load on the wafer. The system is able to do back side passivation as well as front side anti-reflective coatings.