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ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향
1993
이원종
조복원
김종석
김일
권기원
안성태
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