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超純水のみによる電気化学的加工法の研究 : Si(001)水素終端化表面原子のOHによる加工現象の反応素過程
超純水のみによる電気化学的加工法の研究 : Si(001)水素終端化表面原子のOHによる加工現象の反応素過程
2001
eiwa gotou
kure kyuuzi hirose
gen takasi obata
yasusi touma
yuuzou mori
Keywords:
Hydroxyl radical
Chemistry
Orbital hybridisation
Inorganic chemistry
Etching
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