Cellules de memoire remanente auto-alignees et procedes de fabrication

Ensemble memoire remanente possedant des lignes de mots couplees a des grilles flottantes dont une partie superieure est concue pour produire une augmentation de surface et, de ce fait, une augmentation de couplage aux lignes de mots. L'invention concerne egalement le blindage entre les grilles flottantes. Un premier procede d'elaboration de ces grilles flottantes consiste a effectuer l'attaque chimique d'une partie superieure d'une structure de polysilicium, tout en mettant en application des elements de masquage afin de mettre en forme la grille flottante. Un deuxieme procede consiste a graver des evidements et des saillies dans une structure de polysicilium prealablement a la gravure de ladite structure afin de creer des grilles flottantes individuelles.