金属パターン形成材料、架橋性モノマー、及び金属パターンの形成方法

2005 
金属を化学吸着させて形成する金属パターンの形成方法、及びそれに用いるパターン形成材料、架橋性モノマーを提供する。  基体の表面に、組成中にカルボキシル基とスルホン酸基とのうち少なくとも一方を有する(A)マトリックスポリマーでなるパターン形成材料を用いて、pH=7未満の純水液にて現像工程及びリンス工程を含むフォトリソグラフィー法によりパターンを形成する工程と、このパターンを、金属化合物を含む水溶液に浸漬し、金属イオンもしくは金属化合物錯イオンを、パターンに化学吸着させて、金属含有パターンを形成する工程と、金属含有パターンを焼成して金属単体もしくはそれに金属酸化物を含む金属パターンを形成する工程と、を備えた。また、架橋性モノマーには、多価アルコールと、N-メチロール(メタ)アクリルアミドと、の縮合物を含有するものを用いた。
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