蒸着マスク、蒸着装置、蒸着方法、および蒸着マスクの製造方法

2015 
マスク基板(2)上に、磁性体部(4)が、マスク基板(2)のY開口部列(31)間およびX開口部列(32)間をそれぞれ区切るとともに、X開口部列(32)間を区切る磁性体部(4)は、Y方向に隣り合う開口部(3)の間に位置する部分の厚みが、互いに隣り合うY開口部列(31)間に位置する部分の厚みよりも薄い。
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