原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査 (電子デバイス研究会 ディスプレイに関する技術全般 LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイ,並びに照明などの光源に関するデバイス,部品・材料及び応用技術、並びに評価全般)