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전자빔 리소그래피에서의 레지스트 내부 에너지 분포에 대한 전산모사 프로그램의 제작
전자빔 리소그래피에서의 레지스트 내부 에너지 분포에 대한 전산모사 프로그램의 제작
2007
정인구
정희준
Keywords:
Electron-beam lithography
Optics
Monte Carlo method
Materials science
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