Motif conducteur et procédé de fabrication correspondant
2010
La presente invention concerne un procede de fabrication d'un motif conducteur, ainsi que le motif conducteur ainsi produit. Ledit procede consiste a) a former un film conducteur sur un substrat; b) a creer un motif de photoresine de gravure sur ledit film conducteur; puis c) a graver de maniere excessive le film conducteur a l'aide du motif de photoresine de gravure afin d'obtenir un motif conducteur dont la largeur de ligne est inferieure a celle du motif de photoresine de gravure. L'invention permet d'obtenir un motif conducteur a largeur de ligne ultramince et ce, de maniere efficace et economique.
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