Verfahren zum Herstellen einer Trennschicht sowie Substratoberfläche mit Trennschicht

Verfahren zum Herstellen einer plasmapolymeren Trennschicht auf einer Substratoberflache, wobei ein Plasmapolymer auf der Substratoberflache bei Atmospharendruck gebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasmapolymer unter zeitlich konstanten Polymerisationsbedingungen gebildet wird und dass das sich bildende und/oder gebildete Plasmapolymer thermisch so behandelt wird, dass reaktive Gruppen auf der Oberflache der Trennschicht, die der Substratoberflache abgewandt ist, abgebaut werden.