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"Des couches minces PECVD a-SiCXNY:H aux membranes permsélectives à l'hydrogène"
"Des couches minces PECVD a-SiCXNY:H aux membranes permsélectives à l'hydrogène"
2008
V. Rouessac
W. Kafrouni
A. Julbe
J Durand
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