Capteur pour détecter une substance dans un liquide

2008 
L'invention propose un capteur pour detecter une substance dans un liquide. Le capteur presente de petites dimensions et ameliore aisement la precision de detection. Le capteur comporte a) un substrat piezoelectrique (12), b) au moins deux elements SAW (16, 17) qui sont formes sur une surface principale (12a) du substrat piezoelectrique (12) et qui ont au moins une electrode IDT configurant une section de detection, c) une electrode externe (15) qui est formee sur l'autre surface principale (12b) du substrat piezoelectrique (12) et qui est electriquement connectee aux elements SAW (16, 17) par l'intermediaire d'un trou d'interconnexion (13) penetrant dans le substrat piezoelectrique (12), d) un element formant canal (19) qui est dispose autour des elements SAW (16, 17) et une partie reliant les elements SAW (16, 17) sur la surface principale (12a) du substrat piezoelectrique (12) et forme une paroi laterale d'un canal (30), et e) un element de protection (20) qui est relie au cote de la surface principale (12a) du substrat piezoelectrique (12) a travers l'element formant canal (19) pour couvrir le canal (30) et qui a au moins deux trous traversants (22, 24) communiquant avec le canal (30).
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