Wafer storage apparatus having gas charging units and semiconductor manufacturing apparatus using the same

본 발명의 웨이퍼 스토리지 장치는 복수개의 웨이퍼들이 인입될 수 있게 전면이 개방된 내부 공간을 구비하고 상기 웨이퍼들을 적재할 수 있는 웨이퍼 적재부와, 상기 웨이퍼 적재부의 후면에 설치되어 상기 내부 공간에 외부 공기의 유입을 방지할 수 있는 후면 커버부와, 상기 후면 커버부가 설치된 후면측에서 상기 웨이퍼 적재부에 가스를 주입하여 충진할 수 있는 가스 충진부를 포함하여 이루어진다.