Transporteinrichtung für horizontale Vakuumbeschichtungsanlagen
2008
In einer horizontalen Vakuumbeschichtungsanlage 1 mit Kammerwanden 11 und zwischen den Funktionssektionen 2, 3 angeordneten Trennwanden 12 ist eine sich durch die Funktionssektionen 2, 3 erstreckende Transporteinrichtung angeordnet, die eine Mehrzahl von Transportwalzen 4 und mindestens ein Gassperrelement 9 umfasst, wobei mindestens ein Gassperrelement 9 zwischen einer Kammerwand 11 der Vakuumbeschichtungsanlage 1 und einer Transportwalze 4 angeordnet ist.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI