Абсолютный выход фотонов с поверхности кремния при электронном и ионном облучении

Изучены характеристики оптического излучения, которым сопровождается бомбардировка поверхности кремния электронами и ионами средних энергий. Наблюдаемое при этом непрерывное излучение связывается с межзонными электронными переходами. Характеристическое излучение, которое также имеет место в обоих случаях, в случае ионной бомбардировки испускается распыленными в возбужденном состоянии атомами кремния и рассеянными ионами гелия, а в случае электронной бомбардировки – десорбированными возбужденными атомами и молекулами остаточной атмосферы, которыми покрыта исследуемая поверхность кремния.