ОСОБЕННОСТИ УПРАВЛЯЕМОГО ЛАЗЕРНОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КВАРЦА

Выполнено моделирование процесса управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кварца. Расчет термоупругих полей, формируемых в квадратной монокристаллической кварцевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для пяти различных вариантов ориентации среза кристалла и направления перемещения лазерного пучка. Проведена экспериментальная проверка полученных результатов с использованием СО2-лазера. Полученные результаты могут быть использованы в электронной промышленности для оптимизации процесса лазерной резки кристаллов кварца.