蒸着ユニット、蒸着装置、および蒸着方法

蒸着ユニット（１）は、蒸着マスク（１０）と、制限板（２２）を有する制限板ユニット（２０）と、蒸着源（３０）と、を備えている。蒸着源（３０）は、平面視で、制限板（２２）間の制限板開口（２３）間にそれぞれ設けられた蒸着粒子射出用の複数の第１開口部（３１）と、制限板開口（２３）に対向しない位置に設けられた少なくとも１つの圧力抜き用の第２開口部（３２）とを有している。