ZnO膜膜厚对ZnO／p—Si异质结光电转换性能的影响

采用射频磁控溅射法在P型Si衬底上制备了不同膜厚的氧化锌中掺杂氧化铝（AZO）薄膜。测试了电阻率、结构性质、光透过率、单色光光子一电子转换效率（IPCE）和电池性能谱，研究了膜厚对电池光电转换性能的影响。结果表明，在适当的膜厚内，随着膜厚的增大，异质结对波长300--400nm的光的光电转换效率逐渐增大，对400nm以上波长段光的光电转换效率逐渐减小；而膜厚过薄或过厚会导致光电转换率降低；溅射时间为30min的样品膜厚最适中，为153．0nm，样品的电池开路电压为0．399V，短路电流为361．5μA，最大功率为40．8μW。