Corps de chauffe en ceramique destine a la fabrication de semi-conducteurs et a un equipement d'inspection

L'invention concerne un corps de chauffe en ceramique destine a la fabrication de semi-conducteurs et a un equipement d'inspection, qui est capable de chauffer uniformement une plaquette semi-conductrice en uniformisant la temperature de la totalite de la surface chauffee de la plaquette. Le corps de chauffe comprend un element de resistance chauffant situe sur la surface d'un substrat en ceramique ou a l'interieur de celui-ci, et se caracterise en ce qu'une variation de la valeur de resistance de l'element de resistance chauffant par rapport a la valeur de resistance moyenne est inferieure ou egale a 25 %.