Procede de production de derive de sel d'onium et nouveau derive de sel d'onium

La presente invention concerne un procede de production permettant de synthetiser avec un rendement eleve un derive de sel d'onium utilise, par exemple, comme generateur d'acide dans des resists du type a amplification chimique. Ce procede consiste a faire reagir un derive de sel d'onium comportant un anion d'halogene ou un anion de carboxylate avec un derive d'ester sulfonique ou un derive d'ester phosphorique. Par consequent, on obtient un derive de sulfonate d'onium ou un derive de phosphate d'onium avec un rendement eleve.