Beeinflussung der Oxidationsrate von Polysilicium und Molybdänsilicid durch Ionenimplantation

Etude de la vitesse d'oxydation thermique en milieu H 2 /O 2 . Une implantation d'ions accelere le processus d'oxydation. Suivant la nature des ions implantes (B, BF 2 , P, As), on observe des differences du comortement a l'oxydation