圧電薄膜共振子、圧電フィルタ、およびそれを有する電子部品

【課題】共振のＱを高めて、減衰特性に優れた圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタ、およびそれを備えた電子部品を提供する。 【解決手段】支持基板２上に圧電薄膜５を形成する。圧電薄膜５を挟んで対向する下部電極４および上部電極６を設ける。下部電極４および上部電極６の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜５のスティフネスより大きい。 【選択図】　図１