Dispositif micro-electronique permettant de hausser et d'incliner une plate-forme

Cette invention a trait a un dispositif micro-electronique (MEM) (10), comportant une plate-forme (14) pouvant s'elever au-dessus d'un substrat (12) et etre inclinee selon un angle arbitraire et ce, grâce a plusieurs elements souples (16) soutenant la plate-forme (14) et commandant ses mouvements. Chaque element souple (16) est, de plus, commande par un ou plusieurs actionneurs de MEM (18) le faisant s'incurver. Ces actionneurs de MEM (18) peuvent etre des actionneurs electrostatiques du type peigne (34) ou des actionneurs verticaux du type ZIP (80) ou bien etre une combinaison de ceux-ci. Le dispositif MEM (10) peut etre revetu d'un enduit miroir (24), afin de constituer un miroir programmable aux fins de la reorientation ou du basculement d'un ou plusieurs faisceaux lumineux (200) utilisables dans un systeme d'affichage par projection. Ce dispositif MEM (10), revetu d'un enduit miroir (24), permet egalement de basculer des faisceaux entre des fibres optiques utilisables dans un reseau local a fibre optiques ou dans des systemes de telecommunications a fibre optiques ou encore dans des systemes de communication de donnees.