Dépôt par évaporation sous vide, dispositif de dépôt par évaporation sous vide et dispositif d'affichage électroluminescent organique

Cette invention concerne un dispositif de depot par evaporation sous vide, dans lequel une source de depot par evaporation sous vide (60), une pluralite de plaques de regulation (80), et un masque de depot (70) sont disposes dans cet ordre. Un substrat (10) est entraine a se deplacer par rapport au masque de depot separe uniquement a un intervalle fixe. Des particules de depot par evaporation sous vide (91) qui distribuees a partir d'ouvertures (61) menagees dans la source de depot par evaporation sous vide, traversent des espaces (81) separant les plaques de regulation adjacentes, puis traversent des ouvertures de masque (71) formees dans le masque de depot, et adherent sur le substrat pour former un film (90). Au moins une partie du film est formee par les particules de depot par evaporation sous vide qui ont traverse les espaces entre au moins deux plaques de regulation qui different l'une de l'autre. Il est ainsi possible de former un film en reduisant au minimum les bords flous ou les variations d'epaisseur.